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全铜互连相关论文
基于烧结纳米铜颗粒的低温全铜互连研究
近年来,随着电子元器件的高密度化、微型化和多功能化,以及宽带隙半导体高温器件的发展,微电子封装系统的可靠性面临着更大的挑战......
学位
全铜互连
纳/微米铜混合结构
磷化处理
粗糙度
剪切强度
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