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共掺薄膜相关论文
Ga-N共掺方法生长p型ZnMgO薄膜及其特性研究
本文采用直流反应磁控溅射技术,,利用Ga-N共掺方法,在N2O+O2气氛下、玻璃衬底上制备了ZnMgO薄膜。通过不断优化N2O/O2流量比值和衬......
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共掺薄膜
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