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冲击硅微机械加速度传感器相关论文
冲击硅微机械加速度传感器的封装与封装性能分析
给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的器件封装结构并对其封装的性能进行了分析。加速度传感器的封装采用可伐合金做管壳,......
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冲击硅微机械加速度传感器
封装
可伐合金
模态频率
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silicon micromachined shock accelerometer
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