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准单向蚀刻效应相关论文
蚀刻表面面形的分析
采用一个有效的数学模型,分析了在蚀刻工艺中基底自身面形轮廓的曲线形状对基底局部区域的蚀刻速率产生的影响,并通过对数学模型的......
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