本文利用准谐频设计方法，在常规光刻工艺水平上，成功地实现了ＧＨＺ级声表面波（ＳＡＷ）器件，准谐频叉指换能器（ＱＨＩＤＴ）的优点为：其指条宽与指间隙可以比一般的......