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基于不同纳米划痕顺序的6H-SiC单晶片材料去除机理研究
通过微纳米力学测试系统对6H-SiC单晶片(0001)晶面进行不同间距和不同顺序的纳米刻划试验,并用摩擦力传感器、超景深显微系统和三......
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SiC单晶片
纳米划痕
划痕顺序
划痕间距
材料去除
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