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制备气氛相关论文

磁控溅射法制备AZO薄膜的工艺研究

用XRD测试仪、分光光度计、四探针等测试仪器,探讨了制备气氛、退火温度和退火环境对AZO薄膜光电性能及结构的影响.结果表明:氧气......

期刊

无机非金属材料 AZO薄膜磁控溅射法制备气氛退火温度 inorganic non-metallic materials AZO thin films ma

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