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刻蚀掩膜相关论文
基于金属钛的微机械加工工艺与器件
随着深刻蚀等微机械加工技术的发展,在金属钛本体上可以加工出多种微结构,金属钛成为了一种新兴的MEMS结构材料。本论文对金属钛本体......
学位
微机械加工技术
加工工艺
湿法腐蚀
刻蚀掩膜
金属钛
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