薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)是一种微型化、频率高、成本低、可集成的压电器件,在新一代无线通信系统已......

随着薄膜与微纳加工技术的快速发展,薄膜体声波滤波器(FBAR)在通信领域得到了广泛的商业应用。相对于传统的介质谐振器及声表面波(......

为了检测液体中的微量物质,研究了横向电场激励的剪切波固体装配型AlN薄膜体声波谐振器.器件以c轴择优取向的AlN薄膜作为压电层,电......

薄膜体声波谐振器(FBAR)具有谐振频率和质量灵敏度高,尺寸小及与CMOS工艺兼容等特点,这些特点使FBAR技术成为制备生物化学传感器的......