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提出基于受力分析与能量原理建立等效集总力学描述的思想,实现对机电耦合MEMS悬臂梁动态行为的系统级模拟.利用受控源的反馈作用实现......
将MEMS悬臂梁在静电驱动下的受力过程映射为悬臂梁自由端(即其纵向最大位移点)的力学描述,从而实现对悬臂梁的直流稳态分析。其基本原......