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GaN纳米带压电晶体管的力电耦合性能研究
近年来,微机电系统(MEMS)的研究趋于成熟,微纳机电器件在市场中也被广泛应用。GaN纳米材料因其具备高击穿电压、高热导率和耐腐蚀......
学位
微纳机电器件
GaN纳米带
压电晶体管
力电开关
力电耦合性能
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