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力-电荷量方程相关论文

ZnO压电薄膜微悬臂梁的结构设计及研究

当压力作用在ZnO压电薄膜微悬臂梁上时,产生电荷量的大小将直接决定压电传感器灵敏度的高低。根据等效截面法,推导了复合微悬臂梁......

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微压力传感器微悬臂梁 ZNO薄膜力-电荷量方程 micro pressure sensor micro-cantilever ZnO thin film

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