功率沉积相关论文
采用自主编写的程序HWAP(helicon wave at plasma)模拟了双鞍型天线与均匀柱状螺旋波等离子体相互作用时耦合距离对功率沉积的影响......
基于次级电子倍增动力学模型和次级电子发射曲线,运用蒙特卡罗方法模拟电介质表面具有纵向射频电场作用下的单边次级电子倍增现象,......
近年来,螺旋波等离子体源在核聚变条件下等离子体与材料的相互作用方面具有十分重要的研究意义.本文对高密度螺旋波等离子体原型实......
等离子体腔室放电广泛应用于IC制造中的薄膜沉积、刻蚀工艺中,是现代工艺装备中的重要部件。等离子体腔室中的电磁场的均匀性直接......
现今的托卡马克实验装置主要通过对等离子体进行辅助加热来获得更高的聚变温度。离子回旋波加热实验中，通过确定离子回旋波加热功率......
容性等离子体(Capacitively Coupled Plasma,CPP)即E型放电等离子体,被广泛应用于半导体器件制造工艺。在容性等离子射频源中,当电......
分析了朗缪尔探针在等离子体测量过程中的功率沉积密度，并初步计算了探针的温升，为强流离子源的探针诊断提供指导。......
采用TORAY代码对HL-2A装置ECRH系统在单零点偏滤器位形下的波与等离子体相互作用的情况进行了模拟计算，研究了等离子体和波参数对EC......
用有限拉莫尔半径（FLR）修正的相对论色散关系进行了数值模拟，研究了电子回旋波在高温、高密等离子体的功率沉积，并将计算结果与应用弱......
通过求解等离子体平衡方程、波迹方程和准线性Fokker-Planck方程,数值模拟了电子回旋(EC)波在非圆截面托卡马克等离子体中的传播轨......
<正> This study investigated the inductively coupledplasma etching reactor and RF coils developed by NorthMicroelectroni......
对原有的低混杂波电流驱动模拟程序进行改进,使之能够研究EAST上如何控制低混杂波功率沉积和电流驱动分布.在EAST非圆截面的平衡位......
低杂波电流驱动是实现托卡马克稳态运行的主要手段。文章对EAST全超导托卡马克低杂波电流驱动进行了放电模拟研究，着重分析了低杂波......
近年来,螺旋波等离子体源在核聚变条件下等离子体与材料的相互作用方面具有十分重要的研究意义.本文对高密度螺旋波等离子体原型实......
利用TORAY程序对电子回旋波的传播轨迹、功率沉积和电流驱动等参数与波束发射位置、发射角度的相互关系进行了数值模拟计算,给出了......
利用MEC和LSC耦合的程序研究TEAST天线不同的相位差△矽对功率谱的影响及对功率沉积位置和电流分布的影响。通过计算发现，随着△Ф......
对D型截面托卡马克用平板模型求出等离子体中的场量及微分场量的分布,由此对入射波进行波束划分,并给出每一波束的初始条件.用射线......
采用有限温度等离子体介电张量模型,在考虑粒子热效应情形下,通过求解传导边界条件下等离子体柱中本征模的色散关系,分析了螺旋波......
计算了频率在电子回旋频率附近的0波和X波在HL-1M等离子体中的传播轨迹和吸收系数.研究了等离子体温度、密度和共振层位置等参数及......
应用改进后的低杂波电流驱动程序对EAST进行了低杂波电流驱动的数值模拟.通过模拟发现,波注入位置、功率谱、等离子体温度和密度对......
采用考虑粒子热效应及粒子温度各向异性的温等离子体介电张量模型,借助绝缘边界条件下径向密度均匀分布等离子体柱中螺旋波与Trive......
