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基于MEMS技术的微反应器的设计和制作
基于MEMS技术设计和制作了一种微型的、集成的生物化学反应器.文中阐述了微反应器的结构、工艺及工作特性.该反应器的反应池体积的......
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MEMS技术
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生物化学装置
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