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动态椭偏术相关论文

动态椭偏光谱技术及其在薄膜测量中应用的研究

文章介绍了动态反射式椭圆偏振光谱技术的原理,采用椭圆偏振光谱技术测量得到P型Si(111)晶片,利用直流溅射制备的不同厚度Cu膜样品......

期刊

动态椭偏术光学常数 P型硅 CU膜 dynamic spectroscopic ellipsometry optical constant p-type

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