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动态被动阀相关论文

动态被动阀微泵的研究

介绍了动态被动阀微泵的工作原理及其特点,在研究中利用有限元方法及相关工具对其结构进行分析设计,在加工工艺中提出了二次腐蚀工......

会议

动态被动阀微泵微细加工微机械电子系统有限元方法腐蚀工艺

动态被动阀微泵的研究

该文研究的动态被动阀微泵是一种振膜型微泵,由于其不具有阀门结构,相对于以往的微泵而言有更高的工作频率和可靠性,而且结构简单,......

学位

微机电系统动态被动阀微泵微扩散有限元微加工

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