包络峰探测算法相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

包络峰探测算法相关论文

基于白光扫描干涉术的微结构大范围表征方法研究

随着现代制造业、微电子、微机电系统(MEMS)以及纳米技术的应用发展,对微结构的测量要求越来越高,其中MEMS阵列器件、MEMS多层结构......

学位

微结构白光干涉技术大范围纳米测量机包络峰探测算法

垂直扫描白光干涉术用于微机电系统的尺寸表征

随着微机电系统的发展,器件设计和加工过程中的表征成为一个主要问题。提出了将扫描白光干涉表面轮廓测量方法用于微结构和器件的......

期刊

光学测量微机电系统扫描白光干涉术包络峰探测算法尺寸表征

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