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离子束合成法形成的Si/CoSi2/Si/SiO2/Si(100)结构
用离子束合成法先后在Si(100)衬底中形成了连续的SiO_2及CoSi_2埋层,从而形成了复合的Si/CoSi_2/Si/SiO_2/Si(100)结构。卢瑟福背......
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