化学气相沉积钨相关论文
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钨属于难熔金属，由于具有高熔点、高密度、高强度、高硬度以及优异的导电性能、良好的导热性和比较稳定的化学性能等特性，钨及其合金......
钨已广泛应用于各行各业，如低蒸汽压以及高熔点使钨成为高真空、高温技术不可缺少的材料；高熔点加上其电阻优异和特性的高温力学性能......
