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化学汽相沉积系统相关论文

MOCVD外延GaN材料研究

本文利用低压金属有机物化学汽相沉积系统(LP-MOCVD)分别在c面蓝宝石(Sapphire)衬底和Si(111)衬底上外延生长六方相GaN单晶薄膜......

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化学汽相沉积系统 GaN 衬底外延生长 Ⅲ族氮化物

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