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半导体硅外延材料相关论文

对影响外延片表面质量的若干问题的研究

外延片是制作分立器件的基础性材料,在半导体材料的研究和生产过程中发挥着重要的作用。为了保证半导体材料的质量,提升材料的合格......

期刊

半导体硅外延材料表面质量颗粒暗点滑移线

对影响外延片表面质量的若干问题的研究

外延片作为制造多种分立器件的必须材料,其地位已愈发重要。外延片的表面质量对外延片整体质量有很大影响。本文对在外延片生产中,......

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