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半绝缘GaN薄膜相关论文
非故意掺杂GaN薄膜方块电阻与载气中N_2比例关系研究
利用金属有机气相外延方法研究了非故意掺杂GaN薄膜的方块电阻与高温GaN体材料生长时载气中N2比例的关系.研究发现,随着载气中N2比......
期刊
方块电阻
GaN
N_2
薄膜
半绝缘GaN薄膜
载气
位错
气相外延
均方根粗糙度
缺陷密度
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