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单折绕梁结构相关论文
一种新型水平式MEMS隧穿磁强计仿真
针对微机电系统(MEMS)水平式隧穿磁强计,驱动电压过大,不符合微小型卫星上电源电压的使用条件。提出了单折绕梁结构,通过改变梁结构的方......
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隧穿磁强计
微机电系统
单折绕梁结构
有限元仿真
the tunneling magnetometer micro electro mechanical sys
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