单晶硅缺陷相关硕士博士期刊学术论文

研究了多晶硅酸制绒产生的表面“暗纹”，通过LSM观察发现其在形成初期为彼此不相连的相邻腐蚀坑洞，随着腐蚀的加深，腐蚀坑洞不断变大，......