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一种新型单晶硅SOI高温压力传感器
单晶硅 SOI高温压力传感器是一种新型高性能高温压力传感器。它与扩散硅压力传感器相比有较高的工作温度 ,与多晶硅高温压力传感器......
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单晶硅SOI结构
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