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单晶铌酸锂薄膜Ar~+刻蚀机理与应用研究
随着5G通信时代的到来,对集成化、微型化以及高频化滤波器的需求与日剧增。基于离子注入剥离(Crystal Ion Slicing,CIS)制备的单晶铌......
学位
CIS技术
表面损伤层
氩离子刻蚀
单晶LN薄膜性能
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