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簧片式硅压力传感器的研制
介绍了采用簧片式硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器,利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力......
期刊
压力传感器
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硅芯片
量程范围
簧片式硅弹性膜
单面光刻
非线性误差
片式
压阻式
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