卢瑟福背散射谱相关论文
在探索有效发光电子器件和光电集成微电子材料的研究中,掺杂稀土硅材料近年来引起了人们的关注.我们用离子注入的方法制备了掺La、......
运用卢瑟福背散射(RBS)和二次离子质谱(SIMS)技术相结合测量了SnO_2透明导电膜的密度和膜厚,对于常压CVD法制备的SnO_2薄膜密度约......
主要研究锗离子在77K温度下的冷注入对单晶硅片表面的预非晶化效果，并与室温注入情形予以对比。卢瑟福背散射谱（RBS）和红外干涉反射谱......
