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压电驱动微定位平台相关论文
压电驱动微定位平台迟滞动态建模与控制方法研究
微观纳米时代的到来推动纳米驱动定位技术迅速发展。压电驱动微定位平台是由压电陶瓷材料驱动器组成,因具有微纳米级位移分辨率和......
学位
压电驱动微定位平台
动态迟滞非线性
逆补偿控制
滑模控制
神经网络
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