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厚膜永磁阵列微致动器相关论文
厚膜永磁阵列微致动器的磁路研究
研究了厚膜永磁阵列微致动器中的磁场分布,并研究了永磁阵列单元几何尺寸对微致动器电磁力的影响.结果表明,厚膜永磁阵列单元高宽......
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厚膜永磁阵列微致动器
磁场分布
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磁路
微机电系统
permanent magnet arrays magnetic field distribution
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