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原位掺硼相关论文
高温氧化协同原位掺硼提升金刚石薄膜的亲水性
用H2、CH4和B2H6气体作为气源,采用热丝化学气相沉积技术在单晶硅衬底上分别制备纯金刚石膜和含硼金刚石薄膜,然后在600~800℃高温......
期刊
金刚石
热丝化学气相沉积
高温氧化
原位掺硼
亲水性
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