原位Li-Si处理相关硕士博士期刊学术论文

最近在HL－1M装置上新开发出一种第一壁原位锂－硅复合涂覆技术，涂覆后，装置真空室内的真空度上升，杂质气体分压强下降，低于单一的硅化和锂......