研究人员用弧热氮原子束辅助脉冲激光溅射方法沉积ＺｎＳｅ掺氮薄膜。溅射靶采用多晶ＺｎＳｅ片，衬底采用抛光ＧａＡｓ（１００）和Ｓｉ（１１１）片。一台弧热束源被用来分解氮气，含大......

本论文采用氮原子束辅助脉冲激光沉积的方法，在Co/Ni过渡层上制备了CNx纳米薄膜；在背景氧气中制备氧化锌薄膜，并采用退火扩散的方法降......