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去除函数稳定相关论文
光学元件离子束抛光稳定性调控与工艺研究
随着现代光学系统性能的日益发展,空间目标识别、激光物理聚变、国防武器装备以及紫外和深紫外光刻等技术对超精密光学器件的要求......
学位
离子束抛光
去除函数稳定
离子束流特性
元件微观形貌
离子束抛光工艺
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