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双光束干涉曝光法相关论文

过氧聚钨酸薄膜上光栅的制备

用过氧聚钨酸(PPTA)水溶液,通过离心涂膜法在显微镜载玻片上制备了具有光滑表面且厚度为100nm的PPTA薄膜.利用PPTA薄膜在紫外光照......

期刊

过氧聚钨酸薄膜光栅双光束干涉曝光法光集成回路制备原理离心涂膜法 peroxopolytungstic acid thin film diffract

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