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193 nm波长浸没式步进扫描投影光刻机是实现45 nm及以下技术节点集成电路制造的核心装备.增大数值孔径是提高光刻分辨率的有效途径......
提出一种多通道平面窄带滤光片阵列结构,该结构由双层金属光栅及其两侧的分布式布拉格反射器(DBRs)组成。所设计的多通道滤光片中......
近年来,随着纳米技术的不断发展,人们在微纳光子科学与技术领域取得了长足的进步。纳米光子元器件在器件微型化和集成化以及功能拓......
偏振作为光的基本属性之一,包含着被测物体的众多特征信息,随着成像技术的不断发展,将偏振探测技术与成像技术相结合的偏振成像技......