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双移动电极相关论文
大面积应用的RF-PECVD技术研究
本文探讨采用小电极与大面积基片相对移动的方法来制造大面积薄膜的可行性,提出了采用小电极等离子体源在大面积基片上移动工作的......
期刊
大面积
均匀性
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)
双移动电极
Large-area
Uniformity
PECVD
Movement of dua
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