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现阶段光栅尺高精密工作台校准一般需要激光干涉仪等高精度的测量方式,工作台的运动控制目前普遍采用的是传统的PID控制方式。本文......
学位
圆光栅安装偏心误差对圆光栅编码器的角度测量精度有较大影响,对偏心误差进行补偿可以有效提高测量结果的精度。为了对圆光栅的安......
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提出一种在线非接触式测量主轴径向回转误差的方法,为验证其准确性,搭建了主轴回转误差测量装置并进行了比对实验。该方法主要由圆......
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