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双面光刻装置相关论文
用于力敏传感器研制的简易双面光刻装置
利用原有的单面光刻设备,附加简单的真空吸会光刻附件,可以对图形尺寸较大的硅杯式力敏传感器进行双面光刻,实验表明利用这一装置研制......
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力敏传感器
实验装置
双面光刻装置
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