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双频激发等离子体放电相关论文

射频等离子体放电制备DLC/Mo-DLC膜的性质研究

类金刚石薄膜(diamond-like carbon,简称DLC)具有诸如:高硬度、低摩擦系数、极高的电阻率等许多优良的特性而引起了人们广泛的兴趣......

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双频激发等离子体放电磁控溅射放电类金刚石薄膜钼掺杂的类金刚石薄膜

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