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双频等离子体相关论文
双频容性耦合CF_4等离子体放电的二维混合模拟
研究了等离子体反应装置内的等离子体密度、粒子能量与角度分布等参量在装置径向与轴向上的分布特性。在研究过程中应用二维混合模......
期刊
双频等离子体
混合模拟
离子能量分布
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复合铪基高k薄膜的双频等离子体涂覆及机理研究
以硅基集成电路为核心的微电子工业正遵循着摩尔定律蓬勃发展。国际半导体技术发展规划指出,2015年以后半导体器件将进入22 nm线宽......
学位
铪基高k薄膜
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