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双E型传感器相关论文

用激光束成像法测量双E型硅弹性膜应变

报道了用激光束成像法对双E型传感器的硅弹性膜在不同压力情况下的应变进行的研究,并测出该弹性膜的应变情况。此方法对其他形式的......

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激光束成像法硅弹性膜应变双E型传感器敏感芯片力学结构 laser beam image elastic diaphragm strain

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