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反应离子刻蚀工艺相关论文
基于Monte Carlo方法的RIE模拟
反应离子刻蚀(RIE)工艺,是MEMS加工工艺中使用最广泛的技术手段之一。开发RIE模拟软件可以降低MEMS器件设计与研制成本,缩短研发周期:并......
学位
反应离子刻蚀工艺
Monte Carlo方法
模拟软件
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