反应离子刻蚀工艺相关硕士博士期刊学术论文

反应离子刻蚀（RIE）工艺，是MEMS加工工艺中使用最广泛的技术手段之一。开发RIE模拟软件可以降低MEMS器件设计与研制成本，缩短研发周期：并......