通过一新的溶胶-凝胶工艺:反提拉涂膜方法,在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备了PZT(Zr/Ti=52/48)铁电薄膜,并研究了退......

采用醋酸铅、硝酸锆、钛酸丁酯制备的独立前驱单体,通过溶胶-凝胶反提拉涂膜技术在基片Pt/Ti/SiO2/Si上制备了锆钛酸铅(lead zirco......

通过一新的溶胶-凝胶工艺：反提拉涂膜方法，在Si（100）和Pt（111）／Ti／SiO2／Si（100）基片上制备了PZT（Zr／Ti=52／48）铁电薄膜。并研究了退火工艺及其PbO......