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超分辨近场结构记录性能与机理研究
本论文主要进行了以下三方面的工作:孔径型掩膜材料的超分辨性能研究;散射型薄膜材料的超分辨性能研究;基于两类材料的只读超分辨光盘......
学位
超分辨近场
孔径型掩膜材料
散射型薄膜
只读超分辨光盘
金属纳米粒子
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