可变矩形电子束曝光机相关论文
本文介绍了几种常见的由集成电路计算机辅助设计(CAD)生成的图形数据格式,详细阐述了可变矩形电子束曝光机的图形数据JEOL51的转换......
介绍利用自行设计的检测图形，检测可变矩形束曝光机成形光阑形态，描述了成形光阑的调整方法，而成形光阑形态、位置的正确与否直接关系......
该文介绍了利用可变矩形束电子束曝光机，在制作亚微米器工作中遇到的工艺技术难点及采用的相应技术方案，描述了为适应制作亚微米图形......
