可调微镜相关论文
提出并设计了一种用于硅基氮化镓（Ga N）可调微镜的静电梳齿型微驱动器。利用有限元软件建立了该器件的几何结构模型,对器件的结构进......
基于微机电系统(MEMS)技术的可调微镜在通信、计算、投影、成像等领域具有较好的发展趋势。微驱动器作为一种驱动机构,为实现微镜......
