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台阶型沟槽相关论文
4H-SiC台阶型沟槽MOSFET器件
介绍了一种4H-SiC台阶型沟槽MOSFET器件.该结构引入了台阶状沟槽,使用TCAD软件对台阶状沟槽的数量、深度、宽度等参数进行了拉偏仿......
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4H-SiC
台阶型沟槽
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