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各向异性.相关论文

采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析

TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于<100>、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向......

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TMAH 粗糙度腐蚀速率各向异性. TMAH Roughness Etching rate Anisotropism

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