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同步辐射光激励的二氧化硅薄膜刻蚀研究
利用热氧化法在硅晶片上生长SiO2薄膜,结合光刻和磁控溅射技术在SiO2薄膜表面制备接触型钴掩模,通过掩模方法在硅表面开展了同步辐......
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同步辐射刻蚀
接触型钴掩模
二氧化硅薄膜
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